| Titel | Rolle | Status | Datum | Hersteller | Zuschlagswert |
|---|---|---|---|---|---|
| Physical Vapor Deposition System | Auftraggeber | active | 09.04.2026 | - | - |
| Physical Vapor Deposition System | Auftraggeber | active | 09.04.2026 | - | - |
| Reactive ion etcher | Auftraggeber | active | 25.03.2026 | - | - |
| Reactive ion etcher | Auftraggeber | active | 25.03.2026 | - | - |
| Kyrostaten Dilution Refrigerators | Auftraggeber | active | 13.03.2026 | - | - |
| Herstellung, Vertrieb und Service von Rasterelektronenmikroskopen und/oder Elektronenstrahllithograp | Auftraggeber | active | 13.03.2026 | - | - |