| Titel | Rolle | Status | Datum | Hersteller | Zuschlagswert |
|---|---|---|---|---|---|
| BNB-Koordination und Bauphysik für CASUS | Auftraggeber | active | 08.05.2026 | - | - |
| Femtosecond Laser System | Auftraggeber | active | 27.04.2026 | - | - |
| Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher | Auftraggeber | active | 26.03.2026 | - | - |
| Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher | Auftraggeber | active | 26.03.2026 | - | - |
| Reinstgermaniumdetektoren | Auftraggeber | active | 02.03.2026 | - | - |
| Spectroscopic imaging ellipsometer (ES) with atomic force microscope (AFM) | Auftraggeber | active | 14.01.2026 | - | - |