| Maskenlose Lithographie |
Gewinner
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awarded |
25.03.2026 |
- |
440.000,00 EUR |
| Deutschland-Freiberg: Laser |
Gewinner
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awarded |
25.02.2020 |
- |
377.910,00 EUR |
| Deutschland-Berlin: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) |
Gewinner
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awarded |
19.09.2019 |
- |
383.277,00 EUR |
| Deutschland-Ilmenau: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) |
Gewinner
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awarded |
10.07.2019 |
- |
368.037,00 EUR |
| Deutschland-Paderborn: Lasergesteuerte Werkzeugmaschinen und Bearbeitungszentren |
Gewinner
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awarded |
21.02.2019 |
- |
361.305,00 EUR |