Das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nano Systeme (Fraunhofer ENAS) benötigt Prozess-Dienstleistungen eines externen Anbieters zur Durchführung und Ergänzung technologischer Prozessketten unter anderem für MEMS- und NEMS-Entwicklungen und zur Hetero-Integration. Die Aufgabenstellung reicht dabei von der Herstellung einzelner Muster bis zur Realisierung von Fertigungsaufträgen mit mehreren Waferbatches auf 150 mm- bzw. 200 mm-Wafergröße. Der Dienstleister muss in der Lage sein, die am Fraunhofer ENAS entwickelten spezifischen Prozesse in den MEMS/NEMS-Technologieabfolgen durchführen und ggf. modifizieren zu können, wobei auch nicht-CMOS-spezifische Sondermaterialien zum Einsatz kommen.