Gegenstand der Ausschreibung ist die Lieferung, Installation (Inbetriebnahme) und Einweisung eines Atomic-Layer-Deposition (ALD) Modul in einen Reinraum unter Reinraumbedingungen. Zusätzlich soll das gesamte Cluster auf SIA umgerüstet werden. Bei dem angebotenen Gerät hat es sich zwingend um ein CE-zertifiziertes Neugerät zu handeln.
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