Die Friedrich-Schiller-Universität Jena plant die Anschaffung eines Vapour-HF-Ätzsystems zur Freistellung höchstempfindlicher photonischer Kristalle, die an Siliziumfäden mit kleinster, aber wohldefinierter Federkonstante aufgehängt sind und nahezu 100 % Reflexion ermöglichen. Diese Elemente levitieren auf einem Laserstrahl; über eine interferometrische Positionsbestimmung und elektrooptische Aktuatoren wird eine rauscharme Leistungsregelung ermöglicht. Die Technologie dient der Entwicklung neuartiger optomechanischer Systeme u.A. mit zukünftigem Einsatz im Einstein Telescope (ET), einem europäischen Gravitationswellenobservatorium. Die technischen Leistungsparameter aus Anlage 2 sind mindestens zu erfüllen.