1 St. Belacker mit Optionen: 1.2 Bearbeiten von 100mm- und 3''-Wafern 5.2 Bearbeiten von 200mm- und 150mm-Sonderwafern 5.3 Bearbeiten von 100mm- und 3''-Sonderwafern 5.6.3 Rotationsausrichtung 5.6.4 Schichtdicken-Modul 5.6.9 Weiteres Spincoating-Modul für lösemittelbasierte Lacke 5.7.3 Zwei weitere Lacklinien für lösemittelbasierte Lacke mit Reservoirs 5.7.4 1/2 weitere Lacklinien für lösemittelbasierte Lacke ohne Reservoirs 5.7.5 Kartuschen-System für lösemittelbasierte Lacke 5.7.8 1 weitere Lacklinie für wasserbasierte Lacke ohne Reservoir 5.7.9 1 weitere Lacklinie für wasserbasierte Lacke mit Reservoir 5.7.10 Kartuschen-System für wasserbasierte Lacke 5.7.16 1 weitere Entwicklerlinie für lösemittelbasierte Entwickler 5.8.3 Automatische Entwicklertank-Befüllung 5.8.5 Wechseltanks für den weiteren lösemittelbasierten Entwickler 5.11 Temperierung der wässrigen Entwickler 5.12 Temperierung der Lacke für 1/2/3 Belackungsmodule