1 Stück Evaporation system Das Fraunhofer IAF plant die Anschaffung einer Elektronenstrahl-Verdampfungsanlage für die Metallverdampfung. Die Anlage soll für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern geeignet sein.
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Titel
Auftragnehmer
Hersteller
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Vergabewert
1
Evaporation System (IAf-06.1) - PR1070484-2050-P
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