Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD (IAF-05.1/05.2/05.3/05.4/05.5) - PR1036076-2050-P

Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD (IAF-05.1/05.2/05.3/05.4/05.5) - PR1036076-2050-P awarded

Auftraggeber

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Veroeffentlicht

22.04.2026

Frist

-

Laufzeit

6 Monate

Geschaetzter Wert

-

Land

DE

IT-Relevanz

★☆☆☆☆ (1/5)

Hardware-Relevanz

★☆☆☆☆ (1/5)

Gewinner

Oxford Instruments

Vergabedatum

21.04.2026

Vertragstyp

Einzelvertrag

Region (NUTS)

Freiburg im Breisgau, Stadtkreis

CPV-Codes

Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke

Quelle

ted_europa | Originalquelle ↗

Notice ID

275322-2026

Beschreibung

1 Stück Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD Das Fraunhofer IAF plant die Anschaffung eines Clustersystems mit ALD-, PECVD- und ICP-CVD-Abscheidungskammer. Das System soll für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern geeignet sein.

Hersteller (0)

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Lose (1)

Los	Titel	Auftragnehmer	Hersteller	Schaetzwert	Vergabewert
1	Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD (IAF-05.1/05.2/05.3/05.4/05.5) - PR1036076-2050-P	Oxford Instruments		—	—