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| Los | Titel | Auftragnehmer | Hersteller | Schaetzwert | Vergabewert |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support) | 900.000 EUR | — |
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